Spektrometer massa kontrol proses Atonarp Aston ™ Spesifikasi teknis:

Alat universal untuk kontrol proses real-time, gas tahan korosi, anti-kondensasi
Platform analisis molekuler in situ untuk pembuatan semikonduktor yang menyediakan data yang dapat dioperasikan secara real-time
Menggunakan sumber ionisasi plasma, tanpa filament, lebih tahan lama
Dapat terintegrasi sepenuhnya dengan alat produksi massal
Aston ™ Analis Spektrum Massa ProsesSebagai platform yang kuat, dapat menggantikan berbagai alat tradisional yang menawarkan tingkat kontrol yang belum pernah terjadi sebelumnya, termasuk photogravure, etching dan sedimentasi dielektrik dan konduktif, pembersihan ruang, pencocokan ruang dan pencernaan.

Aston ™ Analis Spektrum Massa ProsesParameter teknis

Atonarp Aston™ Aplikasi: Perkembangan penting dalam pengendalian dan optimasi proses semikonduktor, meningkatkan produksi, throughput dan efisiensi proses manufaktur semikonduktor
Aston ™ adalah spektrometer massa online kompak yang dirancang dengan desain baru dan tahan lama untuk pemantauan dan kontrol gas dalam manufaktur semikonduktor dan aplikasi kontrol proses industri, dengan akurasi kuantitatif dan waktu nyata yang tinggi dikombinasikan dengan robustitas dan keandalan produksi, seperti analisis deteksi knalpot pompa kering semikonduktor, memungkinkan pemantauan online, diagnosis.
CVD / ALD: Transisi oksida-nitrida dan analisis komponen
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Mengidentifikasi molekul pelacak


Jika Anda membutuhkan pengetahuan lebih lanjutAtonarp Aston ™ Spektrometer massa onlineUntuk informasi lebih lanjut atau diskusi, silakan lihat informasi kontak di bawah ini:
Shanghai Betong: Nona Ye Taiwan Betong: Nona Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( We信同号 ) M: +886-939-653-958

Beberapa merek saat ini merekrut agen kerjasama, yang berminat selamat datang untuk menghubungi Shanghai Betong Ye Nona 1391-883-7267
Shanghai Betong hak cipta dilindungi, salinan pasti!