Algoritma kontrol mencapai kontrol aliran yang stabil dengan mengendalikan rasio aliran, sementara menggunakan teknologi optimasi kontrol HORIBA STEC untuk mengendalikan tekanan aliran atas FS-3000. Selain itu, bahkan jika rasio divergence berubah, algoritma kontrol dapat mencapai respons kecepatan tinggi terhadap divergence.

• Meningkatkan skalabilitas dan kinerja pemeliharaan. FS-3000 dapat memisahkan hingga 15 saluran melalui pemrosesan sinyal kecepatan tinggi. Jika MFC gagal, Anda hanya perlu mengganti mesin yang gagal.

• FS-3000 mendukung berbagai gas, termasuk campuran gas. FS-3000 juga mendukung antarmuka pengguna seperti RS-485 dan DeviceNet.