Dalam banyak aplikasi gas ultramurni, seperti dalam industri semikonduktor, kelembaban sisa dalam gas sangat penting untuk operasi proses dengan baik. Pengukuran kelembaban secara terus menerus telah menjadi sulit dan membutuhkan analiser kelembaban yang kompleks atau teknik analisis yang mahal. Meskipun demikian, MISSELL saat ini telah memperkenalkan solusi sederhana, ekonomis, dan cukup efektif untuk mengukur titik embun secara online dengan batas bawah yang sangat rendah hingga -120 ° C (setara dengan kurang dari 1 ppb).dalam). Transmitter Pura didasarkan pada pengalaman profesional selama bertahun-tahun dalam produksi dan verifikasi sensor titik embun impedansi, menggabungkan bahan dan proses manufaktur industri standar untuk membuat transmitter harga rendah pertama untuk industri manufaktur semikonduktor dan aplikasi gas ultramurni. Sorotan Pengukuran batas bawah -120 ° C titik embun (1 ppb)dalam) Stabilitas pengukuran, pengulangan yang baik Perangkat pengambilan sampel yang sangat terintegrasi Output analog dan digital Instalasi Mudah Antarmuka proses VCR Desain kompak dan kecil Unit tampilan/alarm opsional
Indikator Teknis
Sensor Jenis sensor Sensor kelembaban keramik Ukuran -120 ~ -40 ° C titik embun (verifikasi hingga -100 ~ -40 ° C) Akurasi ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ± 4 ° C -101 ~ -120 ° C (perkiraan) Resolusi 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Tekanan Minimum 10-9 torr; Maksimal 24 MPa Aliran gas 1 ~ 5 Nl / menit Listrik sumber daya Biasanya 24 V DC, minimal 10 V ~ maksimal 28 V, arus maksimum 25 mA output 4-20 mA output, kisaran sesuai dapat disesuaikan dengan perangkat lunak khusus, skala penyesuaian dari 1 ~ 80 ° C (tersedia secara standar) Beban maksimum = 100 Ω + 50 Ω x (V daya -8) Status kesalahan output Informasi kesalahan output standar adalah sebagai berikut: 23 mA = kegagalan sensor; 20 mA = batas atas; 4 mA = batas bawah sifat mekanis Selung sensor Baja tahan karat, dipoles dalam plating 0,1-0,2 Ra µm Port koneksi jalur udara Tipe Premium atau OEM: Antarmuka VCR ¼' m Tipe Pura Sensor: Antarmuka VCR ½' m Konfigurasi Instalasi Premium atau OEM: panjang 120.00mm, segel ujung pelabuhan jalur udara. Tidak perlu menyimpan celah pipa 2 lubang pemasangan M4 x 0,7, 7mm dalam pada dasar, dengan jarak vertikal 20 x 20mm Tipe Pura Sensor: Untuk port VCR ½' yang disediakan pengguna Ukuran Premium atau OEM: 120 x 35 x 150mm Sensor Pura 型: 132 x 35mm Berat Premium atau OEM: 450g Sensor Pura 型: 180 gram Kemasan Pura: Kemasan berlapis ganda, segel pengisian gas inert Pura OEM atau Pura Sensor tipe: Kemasan lapisan tunggal Semua aksesoris pilihan: Kemasan dan pengiriman independen Tipe sensor dilengkapi dengan penutup pelindung pada ujung chip sensor untuk transportasi dan operasi