Hitachi Hightech Corporation merilis mikroskop elektron pemindaian baru, FlexSEM 1000, di seluruh dunia pada tanggal 15 April 2016. Struktur produk ini kompak, mencakup area kecil, tetapi resolusi tidak kehilangan elektroskop besar, dan operasi yang sangat mudah, hampir tanpa pelatihan dapat dioperasikan. Desain kompak dengan resolusi 4 nm.
Mikroskop elektron pemindaian dapat melakukan pengamatan permukaan bahan dengan tingkat pembesaran tinggi dan analisis elemen presisi tinggi, dengan berbagai aplikasi di bidang nanoteknologi, ilmu kehidupan, desain produk dan analisis kegagalan. Dalam beberapa tahun terakhir, permintaan elektroskop pemindaian untuk mengamati struktur halus permukaan dan analisis elemen telah meningkat, dan semakin banyak pengguna berharap dapat menggunakan mikroskop elektron pemindaian di ruang terbatas seperti jalur produksi, jalur pemeriksaan kualitas dan ruang kantor. Oleh karena itu, mikroskop elektron pemindaian yang kecil, mudah dioperasikan, dan resolusi tinggi sangat diperhatikan. FlexSEM 1000 memiliki lebar 450 mm dan panjang 640 mm, 52% lebih sedikit volume, 45% lebih sedikit berat badan dan 50% lebih sedikit konsumsi daya dibandingkan dengan SU1510, dan dilengkapi dengan antarmuka daya standar. Host dapat dipisahkan dari unit pasokan daya dan instalasi sangat fleksibel.
FlexSEM 1000 dilengkapi dengan sistem optik elektronik yang dirancang terbaru dan detektor yang sangat handal dan sensitif dengan resolusi hingga 4nm. FlexSEM 1000 memiliki berbagai fungsi otomatisasi yang memudahkan pengoperasian, sehingga bahkan operator pertama kali dapat mengambil gambar berkualitas tinggi dengan cepat. Selain itu, fitur navigasi yang baru dikembangkan, SEM MAP, dapat menavigasi menggunakan berbagai gambar optik atau foto elektroskop dan beralih dengan cepat dan akurat ke bidang pandang dengan tingkat pembesaran tinggi yang menarik dengan satu klik.

Fitur:

a. melalui detektor elektronik sekunder sensitivitas tinggi, detektor penyebaran belakang, detektor vakum rendah (UVD)^*2mencapai pengamatan gambar berkualitas tinggi di bawah tegangan akselerasi rendah / vakum rendah

b. Operasi sederhana, bahkan pemula dapat mengambil gambar berkualitas tinggi

c. Fungsi navigasi "SEM MAP" yang baru dikembangkan untuk mengunci pandangan dengan cepat

Jendela besar (30 mm)²Sistem spektroskopi SDD yang memudahkan analisis komponen elemen dengan cepat^*2

*1 Memisahkan host dan kotak daya saat diatur di desktop

*2 Pilihan

Proyek		Isi
Pembecahan*3		4.0 nm @ 20 kV (SE: Mode vakum tinggi) 15,0 nm @ 1 kV (SE: Mode vakum tinggi) 5,0 nm @ 20 kV (BSE: mode vakum rendah)
Akselerasi tegangan		0.3 kV ～ 20 kV
Membesarkan		6× - 300.000× (pembesaran film) 16× - 800.000× (Tampilkan pembesaran)
Mode vakum rendah		Kisaran vakum: 6 ~ 100 Pa
Senjata Elektronik		Pre-pasangan tungsten kawat lampu
Meja sampel		3-sumbu motor otomatis X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Ukuran sampel maksimum		Diameternya 80 mm
Tinggi sampel maksimal		40 mm
Ukuran		Host: 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) mm Unit daya: 450 (W) x 640 (D) x 450 (H) mm
Pilihan detektor		Detektor Elektron Sekundar Vakum Rendah Sensitivitas Tinggi (UVD) Detektor sinar-X dispersif energi (EDS)