Tujuan pemeliharaan ICP:
1) menemukan kegagalan instrumen tepat waktu;
2) memeriksa risiko tersembunyi instrumen, menemukan tepat waktu, dan mengusulkan langkah-langkah pencegahan;
3) melalui pemeliharaan instrumen, meningkatkan sensitivitas instrumen, memperpanjang umur pakai instrumen;
4) Meningkatkan stabilitas instrumen untuk memastikan akurasi data pengujian;
Isi pemeliharaan instrumen ICP:
1) Bersihkan semua papan sirkuit, kipas angin dan debu permukaan instrumen
2) Membersihkan nebulizer, ruang nebulisasi, kerucut pencahayaan dan tabung obor
3) Ganti air pendinginan, pipa bersih
4) sambungan tabung vakum, valve solenoid saklar pemeriksaan segel menyesuaikan posisi celah balok
5) Pemeriksaan kinerja pompa vakum, mengganti minyak pompa, cincin segel, saringan molekuler
6) Periksa tidak ada kebocoran antara silinder gas ke ICP, kualifikasi sirkuit ditentukan
7) Memeriksa gas instrumen, sensor gas bantuan, membersihkan
8) Pemeliharaan debu generator frekuensi tinggi RF, pemeliharaan ruang vakum
9) Jawab masalah operasi pengguna