• Akurasi tinggi ± 1,0% titik pengaturan
  Linearitas pengendali aliran massa ini dikompensasi oleh kurva pendekatan polynomial dan mencapai presisi tinggi dalam rentang kontrol aliran. Untuk meningkatkan akurasi gas sebenarnya, data kalibrasi gas proses yang berbeda diukur oleh sistem pengukuran gas standar HORIBA STEC.
• Respon kecepatan tinggi
  Memasang "Variable PID System" untuk merespons satu detik antara dua titik pengaturan. Variabel PID terus berubah tergantung pada pengaturan titik aliran. Optimalkan koefisien PID saat aliran skala penuh dan gas berubah.
• Solusi multi-gas/multi-skala
  Perangkat lunak konfigurasi dapat mengubah spesifikasi dengan cepat dan mudah. Fitur penting adalah bahwa perubahan dapat dilakukan tanpa membuang pengendali aliran massa dari panel kontrol gas atau pipa. Mengurangi jumlah pengontrol aliran massa cadangan yang dibutuhkan, menghemat waktu dan biaya.

Kontroler aliran massa SEC-Z500X cocok untuk berbagai aplikasi serta manufaktur semikonduktor.