EBSD， Difraksi penyebaran kembali elektron dengan nama lengkap, karakteristik utama adalah mempertahankan karakteristik konvensional mikroskop elektron pemindaian sambil melakukan difraksi skala submikron dengan resolusi spasial, memberikan data kristalogi.

Contoh 1

Hasil EBSD dari sampel tungsten karbida / kobalt yang diperoleh dalam kondisi 20kV

Pengujian SEM-EBSD bola las pada papan PCB

Pengamatan in situ perubahan fase γ→α dalam baja karbon rendah

Data stres dari paduan Al in situ EBSD

Contoh 2 Teknologi TKD koaksial menguji struktur lapisan tembaga kembar nano dan membedakan struktur lapisan kembar skala 2nm

Struktur kembar tembaga nano kembar PQ grafik dengan tampilan superposisi IPFX dan distribusi sudut di bagian tengah grafik