Nomor Model: JXA-8230
produsen: JEOL
Aksesoris: Spektrometer (*3), Spektrometer Energi (*1)
elemen analisis: B-U
Resolusi: 3nm

Probe elektron adalah instrumen yang menggunakan sinar-X karakteristik yang dihasilkan setelah sampel sinar elektron untuk analisis komponen mikrozona yang dapat digunakan untuk menganalisis komposisi kimia mikrozona mineral dalam lembaran tipis. Selain beberapa unsur ringan seperti H, He, Li, Be, dan unsur-unsur selanjutnya U dapat dilakukan analisis kualitatif dan kuantitatif. Dapat melakukan pemindaian titik, garis, dan analisis pemindaian wajah.

Contoh: Hasil pengukuran distribusi permukaan bubuk baterai EPMA